(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202222300891.5 (22)申请日 2022.08.31 (73)专利权人 南京华易泰电子科技有限公司 地址 210000 江苏省南京市江北新区智能 制造园 （智博园） 博富路19号210 032 (72)发明人 马彪　徐涛　尤良伟　 (74)专利代理 机构 深圳市广诺专利代理事务所 (普通合伙) 44611 专利代理师 张晓璐 (51)Int.Cl. B08B 3/02(2006.01) B08B 13/00(2006.01) F26B 21/00(2006.01) H01L 21/67(2006.01) (54)实用新型名称 一种晶圆摇摆喷淋机构 (57)摘要 本实用新型涉及喷淋机构技术领域， 尤其为 一种晶圆摇摆喷淋机构， 包括工作台， 所述工作 台的顶部固连接有旋转平台， 所述旋转平台的顶 部设置有晶圆， 所述工作台顶部的右侧开设有收 纳槽， 所述收纳槽内腔滑动连接有升降台， 所述 升降台底部的后侧固定连接有电机， 所述工作台 底部的右侧固定连接有支架 。 本实用新型具备结 构紧凑、 空间利用率高， 密封性好， 药液喷射均匀 和效率高等优势的优点， 在实际使用过程中， 通 过升降气缸、 电机、 喷头和旋转平台的配合使用， 通过实现同步运动， 结构紧凑， 空间利用率高的 效果， 喷头 上集成两种喷嘴， 可通过高度、 角度调 节， 可对晶圆进行全面清洗， 从而达到空间利用 率高、 密封性 好、 清洗高质高效等优势。 权利要求书1页 说明书3页 附图4页 CN 218049303 U 2022.12.16 CN 218049303 U 1.一种晶圆摇摆喷淋机构， 包括工作台 （1） ， 其特征在于： 所述工作台 （1） 的顶部固连接 有旋转平 台 （2） ， 所述旋转平台 （2） 的顶部设置有晶圆 （3） ， 所述工作台 （1） 顶部的右侧开设 有收纳槽 （16） ， 所述收纳槽 （16） 内腔滑动 连接有升降台 （19） ， 所述升降台 （19） 底部的后侧 固定连接有电机 （4） ， 所述工作台 （1） 底部的右侧固定连接有支架 （14） ， 所述支架 （14） 的右 侧固定连接有升降气缸 （15） ， 所述升降气缸 （15） 的输出端与升降台 （19） 固定连接， 所述升 降台 （19） 的底部且位于电机 （4） 的前侧通过轴承转动连接有进液管 （13） ， 所述进液管 （13） 的顶端贯穿至升降台 （19） 的顶部并连通有 连接管 （6） ， 所述连接管 （6） 的顶部固定连接有驱 动臂 （9） ， 所述驱动臂 （9） 底部的左侧固定连接有喷头 （10） ， 所述喷头 （10） 底部的前侧与后 侧均设置有喷嘴 （7） ， 所述喷头 （10） 的内腔设置有集 成喷液管 （8） ， 所述集 成喷液管 （8） 的数 量为两个， 所述进液管 （13） 的表 面固定连接有皮带轮一 （11） ， 所述电机 （4） 的输出轴贯穿至 升降台 （19） 的顶部并固定连接有皮带轮二 （18） ， 所述皮带轮一 （11） 与皮带轮二 （18） 的表面 通过皮带传动连接 。 2.根据权利要求1所述的一种晶圆摇摆喷淋机构， 其特征在于： 所述皮带轮一 （11） 与皮 带轮二 （18） 的表面套设有保护罩 （12） ， 所述保护罩 （12） 的底部与升降台 （19） 固定连接 。 3.根据权利要求1所述的一种晶圆摇摆喷淋机构， 其特征在于： 所述旋转平台 （2） 内腔 的一侧开设有凹槽 （17） ， 所述凹槽 （17） 的形状为方 形。 4.根据权利要求1所述的一种晶圆摇摆喷淋机构， 其特征在于： 所述支架 （14） 的一侧设 置有斜面， 且斜面光滑。 5.根据权利要求1所述的一种晶圆摇摆喷淋机构， 其特征在于： 所述收纳槽 （16） 的槽形 为L形， 且收纳槽 （16） 的内腔设置有弧面。 6.根据权利要求1所述的一种晶圆摇摆喷淋机构， 其特征在于： 所述工作台 （1） 顶部的 左侧固定连接有集液桶 （5） ， 所述 集液桶 （5） 与喷头 （10） 配合使用。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 218049303 U 2一种晶圆摇摆喷淋机构 技术领域 [0001]本实用新型 涉及喷淋机构技 术领域， 具体为 一种晶圆摇摆喷淋机构。 背景技术 [0002]晶圆的主要加工方式为片加工和批加工， 即同时加工一片或多片晶圆， 随着半导 体特征尺寸越来越小， 加工及测量设备越来越先进， 使得晶圆加工出现了新的数据特点， 同 时， 特征尺寸的减小， 使得晶圆加工时， 空气中的颗粒数对晶圆加工后质量及可靠性的影响 增大， 而随着洁净的提高， 颗粒 数也出现了新的数据特点。 [0003]现代工艺对用于外延的晶圆表面洁净度、 平坦度、 弯曲度的要求都非常 高， 为了保 证晶圆表面的清洁， 经常需要对晶圆进 行清洗， 晶圆清洗 分为手动清洗和自动清洗， 现有晶 圆摇摆喷淋机构的自动清洗效率低、 合格率差的等问题， 无法逐渐替代手动清洗， 人工清洗 但却总是不能够完全将晶圆表 面清洗干净， 影响后续处理， 传统的喷淋机构 体积庞大、 空间 利用率低， 密封性差等问题， 又不便于使用者使用， 因此为解决上述问题， 一种晶圆摇摆喷 淋机构， 亟 待开发。 实用新型内容 [0004]本实用新型的目的在于提供一种晶圆摇摆喷淋机构， 具备结构紧凑、 空间利用率 高， 密封性好， 药液喷射均匀和效率高等优势的优点， 解决了现有晶圆摇 摆喷淋机构的自动 清洗效率低、 合格率差的等问题， 无法逐渐替代手动清洗， 人工清洗但却总是不能够完全将 晶圆表面清洗干净， 影响后续处理， 传统的喷淋机构体积庞大、 空间利用率低， 密封性差等 问题， 又不便于使用者使用， 因此为解决上述问题， 一种晶圆摇摆喷淋机构， 亟待开发的问 题。 [0005]为实现上述目的， 本 实用新型提供如下技术方案： 一种晶圆摇摆喷淋机构， 包括工 作台， 所述工作台的顶部固连接有旋转平台， 所述旋转平台的顶部 设置有晶圆， 所述工作台 顶部的右侧 开设有收纳槽， 所述收纳槽内腔滑动连接有升降台， 所述升降台底部的后侧固 定连接有电机， 所述工作台底部的右侧固定连接有支架， 所述支架的右侧固定连接有升降 气缸， 所述升降气缸 的输出端与升降台固定连接， 所述升降台的底部且位于电机的前侧 通 过轴承转动连接有进液管， 所述进液管 的顶端贯穿至升降台的顶部并连通有连接管， 所述 连接管的顶部固定连接有驱动臂， 所述驱动臂底部的左侧固定连接有喷头， 所述喷头底部 的前侧与后侧均设置有喷嘴， 所述喷头的内腔设置有集成喷液管， 所述集成喷液管 的数量 为两个， 所述进液管 的表面固定连接有皮带轮一， 所述电机的输出轴贯穿至升降台的顶部 并固定连接有皮带轮二， 所述皮带轮一与皮带轮二的表面 通过皮带传动连接 。 [0006]优选的， 所述皮带轮一与皮带轮二的表面套设有保护罩， 所述保护罩的底部与升 降台固定连接 。 [0007]优选的， 所述旋转平台 内腔的一侧开设有凹槽， 所述凹槽的形状为方 形。 [0008]优选的， 所述支 架的一侧设置有斜 面， 且斜面光滑。说　明　书 1/3 页 3 CN 218049303 U 3