(19)中华 人民共和国 国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202122644100.6 (22)申请日 2021.11.01 (73)专利权人 济南紫源电子有限公司 地址 250200 山东省济南市章 丘市明水绣 源路中段 （吕家村北） (72)发明人 鹿庆文　 (74)专利代理 机构 北京华沛德权律师事务所 11302 代理人 房德权 (51)Int.Cl. B05C 11/08(2006.01) B05C 13/02(2006.01) B05C 11/10(2006.01) (54)实用新型名称 一种自动匀胶机甩胶中心对准装置 (57)摘要 本实用新型属于匀胶机技术领域， 尤其为一 种自动匀胶机甩胶中心对准装置， 包括匀胶机本 体、 升降板和对准机构， 匀胶机本体的两侧对称 的安装有调节伸缩杆， 升降板固定安装在调节伸 缩杆的伸缩端上， 对准机构通过螺栓固定安装在 升降板的底部， 匀胶机本体的顶部开设有甩胶 槽， 甩胶槽底部中心位置处固定安装有匀胶电 机， 匀胶电机的输出轴上安装有硅片放置盘， 硅 片放置盘与对准机构中心对准， 本实用新型通过 对准机构上均匀排列的四个挤压球能够将硅片 位置自动推至中间实现对准， 甩胶时阻挡板和边 侧的伸展式阻挡机构对甩出的光刻胶进行收集， 避免光刻胶被甩出时肆意乱溅， 对准机构为可拆 卸结构， 还 方便后期拆卸清理， 操作 简单， 实用性 强。 权利要求书1页 说明书4页 附图2页 CN 216173795 U 2022.04.05 CN 216173795 U 1.一种自动匀胶机甩胶中心对准装置， 其特征在于： 包括匀胶机本体(1)、 升降板(2)和 对准机构(3)； 所述匀胶机本体(1)的两侧对称的安装有调节伸缩杆(1 ‑1)， 所述升降板(2)固定安装 在所述调节伸缩杆(1 ‑1)的伸缩端上， 所述对准机构(3)通过螺栓固定安装在所述升降板 (2)的底部； 所述匀胶机本体(1)的顶部开设有甩胶槽(1 ‑2)， 所述甩胶槽(1 ‑2)底部中心位置处固 定安装有匀胶电机(1 ‑3)， 所述匀胶电机(1 ‑3)的输出轴上安装有硅片放置盘(1 ‑4)， 所述硅 片放置盘(1 ‑4)与所述对准机构(3)中心对准。 2.根据权利要求1所述的一种自动匀胶机甩胶中心对准装置， 其特征在于： 所述对准机 构(3)包括固定在所述升降板(2)上的密封环(3 ‑1)、 纵向调节伸缩杆(3 ‑2)、 横向调节伸缩 杆(3‑3)、 阻挡板(3 ‑4)和挤压球(3 ‑5)。 3.根据权利要求2所述的一种自动匀胶机甩胶中心对准装置， 其特征在于： 所述纵向调 节伸缩杆(3 ‑2)固定安装在所述密封环(3 ‑1)的底部， 所述横向调节伸缩杆(3 ‑3)固定安装 在所述纵向调节伸缩杆(3 ‑2)的伸缩端， 且所述横向调节伸缩杆(3 ‑3)与所述 纵向调节伸缩 杆(3‑2)垂直。 4.根据权利要求3所述的一种自动匀胶机甩胶中心对准装置， 其特征在于： 所述阻挡板 (3‑4)固定安装在所述横向调节伸缩杆(3 ‑3)的伸缩端上， 所述挤压球(3 ‑5)焊接在所述阻 挡板(3‑4)的一面。 5.根据权利要求4所述的一种自动匀胶机甩胶中心对准装置， 其特征在于： 所述阻挡板 (3‑4)的一面开设有凹槽(3 ‑6)， 所述凹槽(3 ‑6)的底部一侧设置有收集盒(3 ‑7)， 所述阻挡 板(3‑4)的两侧对称的内嵌有微型调节杆， 所述微型调节杆的活动端上安装有溅射胶液收 集结构。 6.根据权利要求5所述的一种自动匀胶机甩胶中心对准装置， 其特征在于： 所述溅射胶 液收集结构包括伸缩板(3 ‑8)和吸附网(3 ‑9)， 所述吸附网(3 ‑9)固定设置在所述伸缩板(3 ‑ 8)的一面。 7.根据权利要求6所述的一种自动匀胶机甩胶中心对准装置， 其特征在于： 所述溅射胶 液收集结构包括伸缩条(3 ‑10)和过滤网(3 ‑11)， 所述过滤网(3 ‑11)安装在两个所述伸缩 条 (3‑10)之间。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 216173795 U 2一种自动匀胶机甩胶中心对准装 置 技术领域 [0001]本实用新型属于匀胶机技 术领域， 具体为 一种自动匀胶机甩胶中心对准装置 。 背景技术 [0002]匀胶机是在高速旋转的基片上， 滴注各类胶液， 利用离心力使滴在基片上的胶液 均匀地涂覆在基片上 的设备， 膜的厚度取决于匀胶机的转速和溶胶的粘度， 主要用于硅片 涂光刻胶， 匀胶机转速的快慢和控制精度直接关系到旋涂层的厚度控制和膜层均匀 性， 在 匀胶机的实际使用过程中， 需要使得放置在基片上 的硅片中心与基片 中心对准， 确保硅片 在被基片携带转动时实现胶液的均匀涂布， 当前的自动匀胶机甩胶中心对准方式多为手 动， 仅是依靠人工实现对准， 尽管效率较高， 能够快速对准， 但是对准效果并不佳， 在基片低 速运行时影响可能不大， 但是在基片高速运动时， 硅片有较大概率因离心作用被甩出， 为 此， 我们提出一种优化改进后的自动匀胶机甩胶中心对准装置 。 实用新型内容 [0003](一)解决的技 术问题 [0004]针对现有技术的不足， 本实用新型提供了一种自动匀胶机甩胶中心对准装置， 利 用对准机构上均匀 排列的四个挤压球 向中间的硅片挤压， 使得硅片位置自动移至中间， 甩 胶时能够利用阻挡板和边侧的伸展式阻挡机构对甩出的光刻胶进 行收集， 避免光刻胶被甩 出时肆意乱溅， 对准机构为可拆卸结构， 还方便后期拆卸清理， 操作简单， 实用性强。 [0005](二)技术方案 [0006]为实现上述目的， 本实用新型提供如下技术方案： 一种自动匀胶机甩胶中心对准 装置， 包括匀胶机 本体、 升降板和对准机构； [0007]所述匀胶机本体的两侧对称的安装有调节伸缩杆， 所述升降板固定安装在所述调 节伸缩杆的伸缩端上， 所述对准机构通过螺 栓固定安装在所述升降板的底部 。 [0008]优选的， 所述匀胶机本体的顶部开设有甩胶槽， 所述甩胶槽底部中心位置处固定 安装有匀胶电机， 所述匀胶电机的输出轴 上安装有硅片放置盘， 所述硅片放置盘与所述对 准机构中心对准。 [0009]通过采用上述方案， 使得匀胶电机带动硅片放置盘转动， 使得硅片放置盘的转动 对位于硅片放置盘上的硅片进行驱动， 实现基本的甩胶功能。 [0010]优选的， 所述对准机构包括固定在所述升降板上的密 封环、 纵向调节伸缩杆、 横向 调节伸缩杆、 阻挡板和挤压球， 所述 纵向调节伸缩杆固定安装在所述密封环的底部， 所述横 向调节伸缩杆固定安装在所述纵向调节伸缩杆的伸缩端， 且所述横向调节伸缩杆与所述 纵 向调节伸缩杆垂直， 所述阻挡板固定安装在所述横向调节伸缩杆 的伸缩端上， 所述挤压球 焊接在所述阻挡板的一 面。 [0011]通过采用上述方案， 纵向调节伸缩杆控制横向调节伸缩杆的高度， 进而对阻挡板 和挤压球的高度进行调节， 通过横向调节伸缩杆对阻挡板和挤压球的横向位置进行调节，说　明　书 1/4 页 3 CN 216173795 U 3