ICS77.040 CCS H 21 中华人民共和国国家标准 GB/T 43313—2023 碳化硅抛光片表面质量和微管密度的测试共焦点微分干涉法 Test method for surface quality and micropipe density of polished silicon carbide wafersConfocal and differential interferometry optics 国家标准全文公开系统专用，此文本仅供个人学习、研究之用，未经授权，禁止复制、发行、汇编、翻译或网络传播等，侵权必究。全国标准信息公共服务平台：https//std.samr.gov.cn 2023-11-27发布 2024-06-01实施国家市场监督管理总局发布国家标准化管理委员会

GB-T 43313-2023 碳化硅抛光片表面质量和微管密度的测试共焦点微分干涉法

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