(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202123146 581.4 (22)申请日 2021.12.15 (73)专利权人 无锡市尚领石英科技有限公司 地址 214406 江苏省无锡市江阴市徐霞客 镇璜塘工业园区富 业路8号 (72)发明人 张国忠　高文送　汪涵　朱海江　 李国洪　朱燕亚　 (74)专利代理 机构 江阴市轻舟专利代理事务所 (普通合伙) 32380 专利代理师 仲红敏 (51)Int.Cl. B07B 1/28(2006.01) B07B 1/42(2006.01) B07B 1/52(2006.01) (54)实用新型名称 单晶石英坩埚生产用原料过滤装置 (57)摘要 本实用新型公开了单晶石英坩埚生产用原 料过滤装置， 包括过滤箱， 所述过滤箱内部设有 进料腔、 过滤腔、 储料腔、 弧形板、 弧形槽、 毛刷、 支撑轴、 连接杆、 齿轮、 不完全齿轮、 电机和扭簧。 本实用新型中弧形板对原料进行过滤过程中， 对 弧形板进行钟摆式转动驱动， 实现弧形板在进料 腔和过滤腔之间进行摆动， 可实现对原料的摆动 式过滤处理， 可有效加强对原料的过滤处理效 果， 同时可有效避免原料堵塞过滤孔， 同时毛刷 对弧形板表 面的过滤孔进行清洁处理， 可有效将 堵塞在过滤孔中的大颗粒原料进行清除， 可有效 快速对弧形板上的过滤孔进行清洁处理， 进而保 证对石英坩埚 原料的过滤处 理效果。 权利要求书1页 说明书4页 附图4页 CN 216779390 U 2022.06.21 CN 216779390 U 1.单晶石英坩埚生产用原料过滤装置， 包括过滤箱(1)， 其特征在于： 所述过滤箱(1)内 部设有进料腔(2)、 过滤腔(3)和储 料腔(4)， 所述过滤腔(3)设于所述进料腔(2)和所述储 料 腔(4)之间， 所述进料腔(2)设于所述储 料腔(4)上方， 所述过滤箱(1)内部于所述进料腔(2) 和所述过滤腔(3)之间设有活动连接的弧形板(5)， 所述弧形板(5)表面均匀开设有若干个 过滤孔(6)， 所述过滤箱(1)内壁设有与所述弧形板(5)相匹配的弧形槽(7)， 所述弧形槽(7) 与所述储料腔(4)贯 通， 所述弧形槽(7)内壁于所述弧形板(5)外侧设有 毛刷(8)。 2.根据权利要求1所述的单晶石英坩埚生产用原料过滤装置， 其特征在于： 所述过滤箱 (1)内壁设有转动连接的支撑轴(9)， 所述支撑轴(9)的横截面圆心与所述弧形板(5)的圆心 重合， 所述支撑轴(9)外壁顶部设有若干个连接杆(10)， 所述连接杆(10)与所述弧形板(5) 内壁固定连接， 所述支撑轴(9)外壁一端套设有齿轮(11)， 所述过滤箱(1)内壁设有与所述 齿轮(11)相啮合的不完全齿轮(12)， 所述过滤箱(1)外壁设有电机(13)， 所述电机(13)输出 轴与所述 不完全齿轮(12)固定连接 。 3.根据权利要求2所述的单晶石英坩埚生产用原料过滤装置， 其特征在于： 所述支撑轴 (9)外壁两端对称设有扭簧(14)， 所述扭簧(14)一端与所述支撑轴(9)卡接， 所述扭簧(14) 另一端与所述过 滤箱(1)内壁 卡接。 4.根据权利要求1所述的单晶石英坩埚生产用原料过滤装置， 其特征在于： 所述过滤箱 (1)外壁于所述过滤腔(3)底部一侧设有活动连接的第一密封板(15)， 所述过滤箱(1)外壁 于所述储料腔(4)一侧设有活动连接的第二密封 板(16)。 5.根据权利要求1所述的单晶石英坩埚生产用原料过滤装置， 其特征在于： 所述过滤箱 (1)顶部设有 进料架(17)， 所述进料架(17)与所述进料腔(2)贯 通。 6.根据权利要求1所述的单晶石英坩埚生产用原料过滤装置， 其特征在于： 所述弧形板 (5)的扇形角大于二百四十度， 且所述弧形板(5)的扇形角小于三百度。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 216779390 U 2单晶石英 坩埚生产用原料过滤装 置 技术领域 [0001]本实用新型涉及坩埚生产加工设备技术领域， 具体为单晶石英坩埚生产用原料过 滤装置。 背景技术 [0002]石英坩埚， 具有高纯度、 耐温性强、 尺寸大精度高、 保温性好、 节约能源、 质量稳定 等优点， 应用越来越广泛。 用电弧法制的半透明石英坩埚是拉制大直径单晶硅， 发展 大规模 集成电路必不可少的基础材料。 石英坩埚的生产制备过程大致包括： 高纯石英砂 →高纯石 墨模具→真空装料成型 →真空电弧熔制 →自然冷却脱模 →石英坩埚初步检测 →冷加工喷 砂、 切断、 倒角 →石英坩埚 二次检测 →超净清洗、 超声、 高压喷淋、 自动烘干、 加温烘烤， 喷涂 →石英坩埚三次检验 →真空包装 →成品入库。 在筛选高纯石英砂过程中， 需要对石英砂进 行过滤处理。 [0003]现有的石英坩埚原料过滤装置， 使用过程中容易发生网孔堵塞， 导致原料过滤效 果较差。 实用新型内容 [0004]本实用新型的目的在于提供单晶石英坩埚生产用原料过滤装置， 以解决上述背景 技术中提出的问题。 [0005]为了解决上述技术问题， 本实用新型提供如下技术方案： 单晶石英坩埚生产用原 料过滤装置， 包括过滤箱， 所述过滤箱内部设有进料腔、 过滤腔和储料腔， 所述过滤腔设于 所述进料腔和所述储料腔之间， 所述进料腔设于所述储料腔上方， 所述过滤箱内部于所述 进料腔和所述过滤腔之 间设有活动连接的弧形板， 所述弧形板表面均匀开设有若干个过滤 孔， 所述过滤箱内壁设有与所述弧形板相匹配的弧形槽， 所述弧形槽与所述储料腔贯通， 所 述弧形槽内壁于所述弧形板 外侧设有 毛刷。 [0006]进一步的， 所述过滤箱内壁设有转动连接 的支撑轴， 所述支撑轴的横截面圆心与 所述弧形板的圆心重合， 所述支撑轴外壁顶部设有若干个连接杆， 所述连接杆与所述弧形 板内壁固定连接， 所述支撑轴外壁一端套设有齿轮， 所述过滤箱内壁设有与所述齿轮相啮 合的不完全齿轮， 所述过 滤箱外壁设有电机， 所述电机 输出轴与所述 不完全齿轮固定连接 。 [0007]进一步的， 所述支撑轴外壁两端对称设有扭簧， 所述扭簧一端与所述支撑轴卡接， 所述扭簧另一端与所述过 滤箱内壁 卡接。 [0008]进一步的， 所述过滤箱外壁于所述过滤腔底部一侧 设有活动连接的第一密封板， 所述过滤箱外壁于所述储料腔一侧设有活动连接的第二密封板， 可将过滤腔内部过滤后的 原料从过 滤箱中取 出， 可将储料腔内部的原料从过 滤箱中取 出， 操作方便快捷。 [0009]进一步的， 所述过滤箱顶部设有进料架， 所述进料架与所述进料腔贯通， 通过进料 架将原料投入到过 滤箱中， 操作便捷。 [0010]进一步的， 所述弧形板 的扇形角大于二百四十度， 且所述弧形板的扇形角小于三说　明　书 1/4 页 3 CN 216779390 U 3