(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202210653616.3 (22)申请日 2022.06.10 (71)申请人 江苏富乐华功率半导体 研究院有限 公司 地址 224000 江苏省盐城市东台 高新区鸿 达路88号 (72)发明人 王斌　贺贤汉　周轶靓　季成龙　 葛荘　 (74)专利代理 机构 北京华际知识产权代理有限 公司 11676 专利代理师 张强 (51)Int.Cl. G01N 21/95(2006.01) G01N 21/64(2006.01) G01N 21/01(2006.01) (54)发明名称 一种陶瓷基板缺陷检测装置及缺陷检测方 法 (57)摘要 本发明公开了一种陶瓷基板缺陷检测装置 及缺陷检测方法， 包括壳体， 所述壳体内壁设有 加工台和支撑架， 所述加工台位于所述支撑架内 侧， 所述加工台内壁设有固定机构， 所述支撑架 外壁设有检测组件， 所述支 撑架内壁设有调节组 件。 可以对陶瓷基板进行无损测试， 并且准确定 位缺陷位置， 检测的准确度较高， 可以调节气囊 张开的范围， 对陶瓷基板的侧面进行支撑， 可 以 对不同大小的陶瓷基板进行固定， 在检测的过程 中避免陶瓷基板发生位移， 提高检测的精准度， 能够避免红外相机发生晃动， 保证红外相机使用 时的稳定性， 可以对不同厚度的陶瓷基板进行测 试， 可以调节金属电极板和透明薄膜电极板的位 置， 从而提高器件的紧密性。 权利要求书2页 说明书5页 附图6页 CN 115078400 A 2022.09.20 CN 115078400 A 1.一种陶瓷基板缺陷检测装置， 包括壳体(1)， 其特征在于： 所述壳体(1)内壁设有加工 台(2)和支撑架(3)， 所述加工台(2)位于所述支撑架(3)内侧， 所述加工台(2)内壁设有固定 机构(4)， 所述支撑架(3)外壁设有检测组件， 所述支撑架(3)内壁设有调节组件。 2.根据权利要求1所述的一种陶瓷基板缺陷检测装置， 其特征在于： 所述调节 组件包括 调节槽(5)， 所述调节槽(5)设于所述支撑架(3)内壁， 所述调节槽(5)内壁滑动设有支撑轴 (6)， 所述支撑轴(6)底端设有自动伸缩杆二(7)， 所述自动伸缩杆二(7)底端设有红外相机 (8)， 所述红外相机(8)外壁设有滤光片(9)， 所述支撑架(3)顶端设有计算机(10)， 所述支撑 轴(6)内壁设有通孔， 所述调节槽(5)内壁转动设有丝杆(11)， 所述丝杆(11)贯穿于所述通 孔。 3.根据权利要求2所述的一种陶瓷基板缺陷检测装置， 其特征在于： 所述通孔内壁设有 与所述丝杆(11)相匹配的丝杆螺母， 所述支撑轴(6)外壁对称设有弹簧(12)， 所述弹簧(12) 套设于所述丝杆(11)外侧， 所述 弹簧(12)外壁远离所述支撑轴(6)一端与所述调节槽(5)连 接， 所述支撑架(3)内壁设有电机(13)， 所述电机(13)的输出轴与所述丝杆(1 1)外壁连接 。 4.根据权利要求1所述的一种陶瓷基板缺陷检测装置， 其特征在于： 所述检测组件包括 若干自动伸缩杆一(14)， 若干所述自动伸缩杆一(14)对称设于所述支撑架(3)底端， 所述自 动伸缩杆一(14)底端设有透明薄膜电极板(15)， 若干所述自动伸缩杆一(14)均匀设置在所 述透明薄膜电极板(15)的四个角。 5.根据权利要求4所述的一种陶瓷基板缺陷检测装置， 其特征在于： 所述透 明薄膜电极 板(15)底端设有场致发光层(16)， 所述支撑架(3)底端设有金属电极板(17)， 所述壳体(1) 内壁对称设有 若干自动伸缩杆三(18)。 6.根据权利要求5所述的一种陶瓷基板缺陷检测装置， 其特征在于： 所述金属电极板 (17)与所述支撑架(3)活动连接， 所述壳体(1)外壁设有稳压电源(22)， 所述场致发光层 (16)为荧光发光层。 7.根据权利要求1所述的一种 陶瓷基板缺陷检测装置， 其特征在于： 所述固定机构(4) 包括若干放置槽(19)， 所述放置槽(19)设于所述加工台(2)内壁， 所述放置槽(19)内壁设有 气囊(20)和凸块(21)， 所述凸块(21)设于所述放置槽(19)底部， 所述气囊(20)套设于所述 放置槽(19)内壁， 所述气囊(20)外壁靠 近所述凸块(21)一侧设有保护层。 8.根据权利要求7所述的一种陶瓷基板缺陷检测装置， 其特征在于： 所述气囊(20)外壁 一侧与所述凸块(21)活动 连接， 所述气囊(20)外壁设有支管(23)， 若干所述支管(23)之间 通过通风管(24)连接， 所述 通风管(24)外壁于所述加工台(2)外壁设有气泵(25)。 9.根据权利要求8所述的一种 陶瓷基板缺陷检测装置， 其特征在于： 所述壳体(1)内壁 设有过滤箱(26)， 所述过滤箱(26)内壁设有吸附碳， 所述过滤箱(26)一端通过管道一(27) 与所述气泵(25)连接， 所述过滤箱(26)另一端设有管道二(28)， 所述管道二(28)延伸至所 述壳体(1)外侧。 10.根据权利要求9所述的一种陶瓷基板缺陷检测装置的检测方法， 其特征在于： 具体 检测方法如下： 步骤一： 对 陶瓷基板进行固定， 陶瓷基板有不同的厚度、 不同的大小， 打开门体， 将待检 测的陶瓷基板放置在凸块(21)上， 气泵(25)运行， 外界的空气通过管道二(28)进入过滤箱 (26)内， 经过吸附碳过滤后到达管道 一(27)， 然后输送至通风管(24)内， 通过若干支管(23)权　利　要　求　书 1/2 页 2 CN 115078400 A 2输送至对应的气囊(20)中， 气囊(20)被空气填充后扩张， 气囊(20)带动保护层向陶瓷基板 靠近， 根据待检测的陶瓷基板的大小， 直到保护层与陶瓷基板接触， 使 得气囊(20)对陶瓷基 板的侧面进 行支撑， 完成对陶瓷基板的固定， 在检测的过程中避免陶瓷基板发生位移， 提高 检测的精准度。 步骤二： 对装置进行调节， 自动伸缩杆一(14)伸长带动 透明薄膜电极板(15)、 场致发光 层(16)向陶瓷基板靠近， 自动伸缩杆三(18)伸长带动金属电极板(17)向陶瓷基板靠近， 从 而提高器件的紧密性， 透明薄膜电极板(15)、 金属电极板(17)和稳压电源(22)连接， 电机 (13)的输出轴带动丝杆(11)转动， 丝杆(11)通过丝杆螺母带动支撑轴(6)， 通过支撑轴(6) 外壁的调节槽(5)对支撑轴(6)进行限位， 使得支撑轴(6)沿着 丝杆(11)水平移动， 直到支撑 轴(6)带动自动伸缩杆二(7)、 红外相机(8)移动到待检测的陶瓷基板上方， 在支撑轴(6)由 移动到停止移动的过程中， 支撑轴(6)由于惯 性会受到移动的冲击力， 两侧的弹簧(12)对支 撑轴(6)进行缓冲， 从而减少对红外相机(8)的冲击力， 避免红外相机(8)发生晃动， 保证红 外相机(8)使用时的稳定性， 自动伸缩杆二(7)伸长或收缩 对红外相机(8)的高度进行调节。 步骤三： 对陶瓷基板进行检测， 关闭门体， 在黑暗的环境中进行检测， 接通稳压电源 (22)， 通过红外相机(8)和滤光片(9)相配合进行拍照， 计算机(10)可以处理发光照片， 判断 有无缺陷， 并对瓷片缺陷位置进行精准定位， 瓷片缺陷位置会出现亮斑， 若无亮斑， 则瓷片 无缺陷， 出现亮斑， 则瓷片有缺陷， 会通过计算机(10)对照片进行处理， 定位出瓷片缺陷位 置。权　利　要　求　书 2/2 页 3 CN 115078400 A 3