ICS 13.040.35 CCS C 70 GB 中华人民共和国国家标准 GB/T25915.2—2021/ISO14644-2:2015 代替GB/T25915.2—2010 洁净室及相关受控环境 第2部分:洁净室空气粒子浓度的监测 Cleanrooms and associated controlled environments-Part 2:Monitoring to provide evidence of cleanroom performance related to air cleanliness by particle concentration (ISO14644-2:2015,IDT) 2021-08-20发布 2022-03-01实施 国家市场监督管理总局 发布 国家标准化管理委员会 GB/T25915.2—2021/ISO14644-2:2015 目 次 前言 引言 范围 2规范性引用文件 3术语和定义 4监测计划的制定、执行及持续改进 5按粒子浓度定期划分空气洁净度 附录A(资料性) 制定监测计划考虑事项 附录B(资料性) 设定预警值和干预值的考虑事项 参考文献 11

.pdf文档 GB-T 25915.2-2021 洁净室及相关受控环境 第2部分:洁净室空气粒子浓度的监测

文档预览
中文文档 4 页 50 下载 1000 浏览 0 评论 309 收藏 3.0分
温馨提示:本文档共4页,可预览 3 页,如浏览全部内容或当前文档出现乱码,可开通会员下载原始文档
GB-T 25915.2-2021 洁净室及相关受控环境 第2部分:洁净室空气粒子浓度的监测 第 1 页 GB-T 25915.2-2021 洁净室及相关受控环境 第2部分:洁净室空气粒子浓度的监测 第 2 页 GB-T 25915.2-2021 洁净室及相关受控环境 第2部分:洁净室空气粒子浓度的监测 第 3 页
下载文档到电脑,方便使用
本文档由 人生无常 于 2024-03-30 13:02:10上传分享
站内资源均来自网友分享或网络收集整理,若无意中侵犯到您的权利,敬请联系我们微信(点击查看客服),我们将及时删除相关资源。