ICS13.040.35 CCSC70 GB 中华人民共和国国家标准 GB/T25915.3—2024/ISO14644-3:2019 代替GB/T25915.3—2010 洁净室及相关受控环境 第3部分：检测方法 Cleanrooms and associated controlled environments- Part 3:Test methods （ISO14644-3:2019.IDT） 2024-03-15发布 2024-10-01实施 国家市场监督管理总局 发布 国家标准化管理委员会 GB/T25915.3—2024/ISO14644-3:2019 目 次 前言 引言 范围 2 规范性引用文件 3 术语和定义 3.1 一般术语 3.2 与空气悬浮粒子有关的术语 3.3 与空气过滤器和过滤系统有关的术语 3.4 与气流和其他物理状态有关的术语 3.5 与静电测量有关的术语 3.6 与测量器具和测量条件有关的术语 3.7 与占用状态有关的术语 检测规程 4.1 洁净室检测 4.2 原理 5检测报告 附录A（资料性） 支持性检测和清单的选择 附录B（资料性） 支持性检测方法 附录C（资料性） 检测仪器 35 参考文献 43

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