ICS 71.100.20 G 86 中华人民共和国国家标准 GB/T 34091—2017 电子工业用气体 六氟乙烷 Gas for electronic industryHexafluoroethane 2017-11-01实施 2017-07-31发布 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 发布 中国国家标准化管理委员会 GB/T34091—2017 前言 本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草 本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会（SAC/TC203)提出并归口。 本标准起草单位：浙江省化工研究院有限公司、广东华特气体股份有限公司、四川中测标物科技有 限公司、高麦仪器公司、西南化工研究设计院有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、东莞市联臣电 子科技有限公司、国家化学工业气体产品质量监督检验中心（福建）、天津长芦华信化工股份有限公司、 中昊光明化工研究设计院有限公司 本标准主要起草人：史婉君、廖恒易、杜汉盛、白占旗、方正、潘义、牛艳东、方华、王鸿、陈熔、林宇巍、 邓建平、李健、周鹏云。 1 GB/T 34091—2017 电子工业用气体 六氟乙烷 1范围 本标准规定了电子工业用六氟乙烷的技术要求、试验方法、包装、标志、贮运及安全。 本标准适用于工业用六氟乙烷经精制提纯而得的高纯六氟乙烷产品。主要在电子工业等离子蚀刻 工艺中作为蚀刻气体或作为电子器元件清洗剂。 分子式：C,F。 相对分子质量：138.0124（按2013年国际相对原子质量）。 2规范性引用文件 2 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文 件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件 GB 190 危险货物包装标志 GB/T 3723 工业用化学产品采样安全通则 GB/T 5099 钢质无缝气瓶 GB/T 5832.1 气体分析微量水分的测定 第1部分：电解法 GB/T 7144 气瓶颜色标志 GB/T 14193 液化气体气瓶充装规定 GB 15258 化学品安全标签编写规定 GB/T16804 气瓶警示标签 GB/T26571 特种气体储存期规范 GB/T 28726 气体分析氨离子化气相色谱法 TSGR0006 气瓶安全技术监察规程 危险化学品安全管理条例（2002年版） 特种设备安全监察条例（2009年版） 3技术要求 六氟乙烷的质量应符合表1的要求。 表1技术指标 目 指标 六氟乙烷（C，F）纯度（体积分数）/10-2 666'66 L 氢（H2）含量（体积分数）/10-6 0.5 （氧+氩）（Oz十Ar)含量（体积分数）/10-6 > 1 氮（N2）含量（体积分数）/10-6 < 5 一氧化碳（CO）含量（体积分数）/10-6 0.5 1 GB/T 34091—2017 表1 (续) 项 目 指标 二氧化碳（CO2）含量（体积分数）/10- 0.5 甲烷（CH）含量（体积分数）/10一 < 1 卤代烃（二氟甲烷、二氟一氯甲烷、三氟甲烷、三氟一氯甲烷、四氟甲烷、五氟一氯甲烷、五氟乙 5 烷、1，1,1-三氟乙烷）（体积分数）/10-6 > 水分（H2O)含量（体积分数)/10-6 < 2 酸度（以HF计）含量（质量分数）/10-6 0.1 杂质总含量（体积分数)/10-6 10 颗粒 供需双方商定 4试验方法 4.1 抽样、判定和复验 4.1.1六氟乙烷产品除酸度外的其他指标应逐一检验并验收，酸度每批次检一瓶。当检验结果有任何 -项指标不符合本标准技术要求时，则判该产品不合格。生产企业应确保每一包装六氟乙烷产品符合 本标准技术要求。 4.1.2六氟乙烷采样安全应符合GB/T3723的相关规定。 4.2六氟乙烷纯度 4.2.1 总杂质含量按式(1)计算： Φ=Φ+Φ++Φ+Φ++Φ+ ......(1) 式中: 总杂质含量（体积分数），10-； dr 氢含量（体积分数），10-； Φ2 （氧十氩）含量（体积分数），10-"； Φ: 氮含量（体积分数），10-； 氧化碳含量（体积分数），10-"； Φ, 二氧化碳含量（体积分数），10-； 甲烷含量（体积分数），10-； Φ1 卤代烃含量（体积分数），10-6； Φ: 水分含量（体积分数），10-。 4.2.2六氟乙烷纯度按式（2)计算： Φ=100—Φ。×10-4 .......(2) 式中： Φ 六氟乙烷纯度（体积分数），10-2 4.3氢、氧+氩、氮、一氧化碳、二氧化碳、甲烷和卤代烃含量的测定 按GB/T28726规定的切割进样的方法测定六氟乙烷中的氢、氧十氩、氮、一氧化碳、二氧化碳、甲 2